質量流量計用于對氣體的質量流量進行精密地測量和控制，廣泛用于分析測量儀器。其性能指標的好壞直接影響到氣體流量控制精密度和準確度，進而影響整機分析結果的準確性和可靠性。
氣體質量流量計用于對氣體的質量流量進行精密地測量和控制，廣泛用于分析測量儀器。其性能指標的好壞直接影響到氣體流量控制精密度和準確度，進而影響整機分析結果的準確性和可靠性。
市場上現在所用的氣體質量流量計種類繁多，分為直接式和間接式兩大類，間接式尤以熱式居多，熱式雖然使用較多，但也有其中的缺點，下面為大家詳細介紹一下熱式和差壓式的優缺點：
熱式與差壓式氣體對比：
熱式氣體/控制器(以下稱MFC/MFM)通過測量層流元件的差壓、壓力、溫度來計算流量，這種測量方式具有固有的線性，重復性好，高精度，無需預熱，溫漂小等特點；可以同時測量4種參數：氣體的瞬時流量、累計流量、溫度和絕壓，并且可以同時顯示和輸出。雖然傳統的熱式原理不需經過溫壓補償即可以直接測量氣體的質量流量，但是熱式原理產品具有先天性的缺陷：長期加熱的工作模式產生的熱漂移，反應速度慢等缺點是不可避免的。而采用差壓原理的氣體/控制器幾乎無零點和溫度漂移，反應速度快，無需預熱，上電即可操作，解決了長期困擾客戶的問題。
